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产品描述
参数
先导元创流体的MFC产品，结合了高精度MFM系统与控制阀技术， 并获得专利保护。先导元创流体的MFC在关键流量指标上实现了数量级的提升，领先于现有的MFC技术，可被应用于先进的晶圆制造工艺。
先导元创流体的MFC拥有专利的双阀控制设计，支持极高精度与极宽量程的流量测量。MFC使用压力传感器及位置传感器，可更精确、快速地自动监控、 测量、控制气体流量。
产品特点：具有实时流量校准能力、极短的响应时间、压力与温度不敏感
MFC产品规格书
通讯协议
产品支持的通讯协议
先导元创流体MFC产品支持DeviceNet、RS-485EtherCAT和模拟通信协议。
模拟及RS-485接口
RS-485和模拟通讯协议模式下，接口位于MFC外壳顶部，为带9个引脚的凸形D-sub连接器
DeviceNet接口
带有微型连接器的DeviceNet细电缆位于MFC外壳的侧面，该接口满足ODVA行业标准。右侧表格定义了该连接器的引脚。
EtherCAT接口
5个引脚的M8电源连接器位于MFC外壳的侧面。
产品描述
气体BIN参数表
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