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产品描述
参数
E60系列MFC在气体流量控制领域以其出色的性能而备受赞誉。其中，卓越的重复性是其特点之一。无论是在连 续运行模式中，还是在间歇操作模式下，E60系列MFC都能展现出稳定而可靠的性能表现。这意味着，即使在 长时间的使用过程中，E60系列MFC的流量控制精度也能保持一致，从而为用户提供了更为精准和可靠的气体流 量控制解决方案。
控制范围(实际气体) 全量程2%-100%
测量精度 ±0.25%F.S.:(2%-25%F.S.)
±1.0%S.P.(25%-100%F.S.)
流量传感技术 毛细管热式
工作温度带域 覆盖5℃-120℃
可对所有半导体特气进行应用测试
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X射线管高压电源
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