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产品描述
参数
先导元创流体的MFC拥有专利的双阀控制设计,支持 极高精度与极宽量程的流量测量。我们的MFC使用压 力传感器及位置传感器,可更精确、快速地自动监控、 测量、控制气体流量。
高精度宽量程设计(实际气体) 全量程0.5%-100%
- 极高的控流精度 设定值±0.5% (0.5%-100% F.S.)
- 极短的响应时间 ≤100ms (10%-100% F.S.) ≤300ms (0.5%-10% F.S.)
- 创新的控制技术 稳健设计,无限流孔 V 系列 s
- 压力及温度的影响 无影响 - 实时流量校准 NIST可追溯
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