高压直流电源
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独创双阀+压降设计十年应用迭代AMAT/LAM/TEL认证产线及零部件VG80/PG90系列国产性能*MFCV100/P110相同设计新建国产产线暂无认证零件国产/自产化E60系列经典可靠全量程经典毛细管热式设计十年应用迭代苹果供应链认证零件国产化优化升

质量流量控制器(MFC)V100 系列

产品编号
54
1
产品描述
参数

先导元创流体的MFC拥有专利的双阀控制设计,支持 极高精度与极宽量程的流量测量。我们的MFC使用压 力传感器及位置传感器,可更精确、快速地自动监控、 测量、控制气体流量。

 高精度宽量程设计(实际气体) 全量程0.5%-100% 

- 极高的控流精度 设定值±0.5% (0.5%-100% F.S.)

 - 极短的响应时间 ≤100ms (10%-100% F.S.) ≤300ms (0.5%-10% F.S.) 

- 创新的控制技术 稳健设计,无限流孔 V 系列 s  

- 压力及温度的影响 无影响 - 实时流量校准 NIST可追溯

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